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ITO PET 技术
点击数:749  2009-03-02 14:27:50  

    ITO为氧化铟与氧化锡的混合物,其具有低阻抗、高透明度及易蚀刻的特性,最著名的应用就是LCD面板上的透明导电层。

    ITO薄膜有几种制作方式,视应用与基材种类而定,目前最具量产性的制程为真空溅镀技术,可用连续式技术在玻璃基材溅镀ITO层。在PET软性材料上,则以成卷式(roll to roll)溅镀制程来将ITO镀制在PET表面上。在塑料材料上镀膜通常比玻璃困难。以成卷式技术在薄的塑料基材上溅镀非金属材料,技术门坎又更高。

    目前较为成熟的成卷式ITO溅镀设备均来自国外,生产的速率为每分钟2~10平方米左右。台湾的镀膜设备厂也积极切入这块市场,希望可以掌控自主的ITO设备技术。

    透明导电膜技术未来将有相当宽广的应用市场,正如ITO在LCD面板,及氧化锌(ZnO)在薄膜太阳能电池的使用一样,除了触摸屏面板以外,未来ITO PET势必也能在软性显示器、电子书及另类太阳能电池的应用上找到更宽广的商机。

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