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雷射回火
点击数:189  2009-05-06 18:43:55  

  低温多晶硅与非晶硅最大差异在于,LTPS 的薄膜晶体管TFT,经过雷射回火(Laser anneal)的制程步骤。

    利用雷射作为热源,雷射光经过投射系统后,会产生能量均匀分布的光束,投射于非晶硅结构的玻璃基板上,当非晶硅结构玻璃基板吸收雷射的能量后,会转变成为多晶硅结构。

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